ArF-Laser (193 nm)

Spiegel

Abb.1:Reflexions- und Transmissionsspektrum eines Spiegels für 193 nm

a)Resonatorspiegel (AOI = 0°)

b)Umlenkspiegel (AOI = 45°, unpolarisiertes Licht)

Fluoridische Optiken garantieren einen hohen Reflexionsgrad und hohe Zerstörschwellen
Hochwertige Spiegelsubstrate, Fenster und Linsen aus CaF₂ (193 nm Excimer Grade, HELLMA Materials GmbH) und Fused Silica
Entwicklung und Produktion von kundenspezifischen Komponenten wie Strahlteiler und Abschwächer auf Anfrage

Auskoppelspiegel

Abb.2:Reflexionsspektren von Auskoppelspiegeln mit
R (0°, 193 nm) = 50 % ±3 % und
R (0°, 193 nm) = 25 % ±2 % (nur beschichtete Seite)

PR Beschichtungen mit folgenden Toleranzen:
- ±2 % für R = 10 % … 30 %
- ±3 % für R = 30 % … 75 %
- ±2 % für R = 75 % … 90 %
- ±1 % für R > 90 %
Einzelwellenlängen-AR mit Restreflexionswerten von:
- R < 0,25 % bei AOI = 0° und
- R < 0,6 % bei AOI = 45° (unpol. Licht)
Breitbandbeschichtungen und Multiwellenlängen-AR

Aluminiumspiegel

Abb.3:Reflexionsspektren von Aluminiumspiegeln

a)Aluminiumspiegel optimiert für 193 nm mit Schutzschicht

b)Aluminiumspiegel mit erhöhter Reflexion für 193 nm, AOI = 45°

Aluminiumspiegel mit erhöhter Reflexion:
- Rp > 93 %
- Rs > 98 %
- Ru > 96 %

Weitere Informationen über Aluminiumspiegel finden Sie auf Seite Vorderseiten-Aluminiumspiegel (150 – 900 nm).

Technische Daten von Standard-ArF-Laserbauteilen

Tabelle 1:Technische Daten von Standard-ArF-Laserbauteilen

Beschichtung/Reflexion der Fluoridschicht	Substrat	Zerstörschwelle*	Lebensdauertest
AR (0°, 193 nm) R < 0,25 %	CaF₂	4 – 5 J/cm²	10⁸ Pulse, keine Beschädigung**
AR (0°, 193 nm) R < 0,25 %	Quarzglas	2 – 3 J/cm²
PR (0°, 193 nm) R = 25 %	CaF₂	3 – 4 J/cm²	10¹⁰ Pulse, keine Beschädigung**
PR (0°, 193 nm) R = 50 %	CaF₂	2 – 3 J/cm²	10¹⁰ Pulse**
HR (0°, 193 nm) R > 97 % (typically R > 98 %)	CaF₂	2 – 3 J/cm²	10¹⁰ Pulse, keine Beschädigung 4 × 10⁹ Pulse, keine Beschädigung
HRu (45°, 193 nm) R > 97 % (typischerweise R > 98 %)	CaF₂	2 – 3 J/cm²
* 1000-on-1, Pulsdauer 14 ns; Messungen wurden durchgeführt von Laser Labor Göttingen, Laser Zentrum Hannover und der Friedrich-Schiller-Universität Jena
** Energiedichte 55 mJ/cm², Wiederholrate 1 kHz, Pulsdauer 15 ns; untersucht von COHERENT AG, München
*** Energiedichte 80 mJ/cm², Wiederholrate 1 kHz, Pulsdauer 12 ns; untersucht von COHERENT AG, München

Bauteile für die vierte Harmonische von Titan-Saphir-Lasern

Spiegel und Separatoren für die vierte Harmonische von Titan-Saphir-Lasern im Wellenlängenbereich um 200 nm werden mit den Beschichtungstechnologien hergestellt, die für ArF-Beschichtungen entwickelt wurden. Weitere Informationen finden Sie auf Seite Bauteile für die höheren Harmonischen des Titan-Saphir-Lasers (140 – 250 nm).