F₂-Laser (157 nm)

Hochwertige Spiegelsubstrate, Fenster und Linsen aus CaF₂ (193 nm Excimer Grade Qualität, HELLMA Materials GmbH)
Bitte beachten Sie, dass Excimer Grade CaF₂ für 157 nm nicht mehr angeboten werden kann. Der Markt für dieses Material ist zu klein im Vergleich zum enormen Aufwand, den die Kristallhersteller betreiben müssen, um das Material nach diesem Qualitätsstandard zu testen. Daher werden alle LAYERTEC Optiken für F₂ Laser in Zukunft aus 193 nm Excimer Grade Material gefertigt.
PR Beschichtungen mit folgenden Toleranzen:
- ±2 % für R = 10 % … 30 %
- ±3 % für R = 30 % … 75 %
- und ±2 % für R = 75 % … 90 %
Entwicklung und Produktion von kundenspezifischen Komponenten wie Strahlteiler und variable Abschwächer auf Anfrage

Spiegel

Abb.1:Gemessene Reflexions- und Transmissionspektren von Spiegeln für 157 nm

a)Laserspiegel (AOI = 0°)

b)Umlenkspiegel (AOI = 45°)

Abb.2:Gemessene Reflexionsspektren von Standard-Auskoppelspiegeln mit:
R = 50 % ±3 % und R = 25 % ±2 % (Rückseite unbeschichtet)

Abb.3:Reflexionsspektren von Aluminiumspiegeln

a)Aluminiumspiegel mit Schutzschicht

b)Aluminiumspiegel mit erhöhtem Reflexionsgrad für 157 nm

Aluminiumspiegel mit Schutzschicht (optimiert für 157 nm):
R = 74 % … 78 %
Dielektrisch-verstärkte Aluminiumspiegel mit erhöhtem Reflexionsgrad: bis zu R = 94 % bei AOI = 0°
Weitere Informationen zu Aluminiumspiegeln finden Sie auf Seite Vorderseiten-Aluminiumspiegel (150 – 900 nm)

Tabelle 1:Technische Daten von Standard-F₂-Laserbauteilen

Beschichtung	Spektrale Leistungsfähigkeit	Lebensdauertest
HR (0°, 157 nm)	R = 92 % … 95 %	2 × 10⁸ – 1 × 10⁹ Pulse*
HR (45°, 157 nm)	R = 90 % … 94 % (unpol. Licht)
PR (0°, 157 nm)	R = 50 % ±3 %	2 × 10⁸ – 1 × 10⁹ Pulse*
PR (0°, 157 nm)	R = 25 % ±2 %	2 × 10⁸ – 1 × 10⁹ Pulse*
AR (0°, 157 nm)	R = 0,3 % … 0,7 %
* Energiedichte 25 mJ/cm², Wiederholrate 800 Hz, Pulsdauer 15 ns; untersucht von COHERENT AG, München

Spiegel und Separatoren für den Bereich 133 nm und 160 nm werden mit den Beschichtungstechnologien hergestellt, die für F₂-Beschichtungen entwickelt wurden. Weitere Informationen finden Sie auf Seite Bauteile für die höheren Harmonischen des Titan-Saphir-Lasers (140 – 250 nm).