KrF, XeCl, XeF Laser (248 nm, 308 nm, 351 nm)

Resonatorspiegel

Abb.1:Reflexionsspektrum eines Resonatorspiegels für 308 nm

Oxidische Beschichtungen für hohe mechanische Stabilität
Beschichtungen können mit IAD, Magnetronsputtern oder IBS hergestellt werden

Fluorresistente Resonatorspiegel

Abb.2:Reflexionsspektrum eines fluoridischen KrF-Resonatorspiegels

Fluoridische Beschichtungen und CaF₂-Substrate für hohe Stabilität gegenüber Fluor und Chlor
Laserspiegel mit R > 98 % bei 248 nm, 308 nm und 351 nm

Auskoppelspiegel

Abb.3:Reflexionsspektrum eines Auskoppelspiegels mit R (0°, 308 nm) = 50 % ±3 %

PR Beschichtungen mit folgender Toleranz:
- ±2 % für R = 10 % … 30 %
- ±3 % für R = 30 % … 75 %
- ±2 % für R = 75 % … 90 %
- und ±1 % für R > 90 %

Fluorresistente Auskoppelspiegel

Abb.4:Reflexionsspektrum eines fluoridischen Auskoppelspiegels mit
R (0°, 248 nm) = 25 % ±3 %

PR Beschichtungen mit folgender Toleranz:
- ±2 % für R = 10 % … 20 %
- ±3 % für R = 20 % … 75 %
- und ±2 % für R = 75 % … > 90 %

Fenster und Linsen

Abb.5:Reflexionsspektren von AR Beschichtungen für 308 nm
und AOI = 0° – 30°

Spiegelsubstrate hoher Qualität, Fenster und Linsen aus Quarzglas

Umlenkspiegel

Abb.6:Reflexionsspektren eines Umlenkspiegels für 308 nm, hergestellt mittels IBS (Reflexionsmessung in s- und p-Polarisation durch CRDS)

Tabelle 1:Reflexion eines Umlenkspiegels

Beschichtung	R (AOI = 0°)	Rs (AOI = 45°)	Rp (AOI = 45°)
248 nm Bedampfung	> 99,0 %	> 99,5 %	> 99,0 %
248 nm Sputtern	> 99,7 %	> 99,8 %	> 99,6 %
308 nm Bedampfung	> 99,7 %	> 99,8 %	> 99,5 %
308 nm Sputtern	> 99,9 %	> 99,9 %	> 99,7 %
351 nm Bedampfung	> 99,9 %	> 99,9 %	> 99,7 %
351 nm Sputtern	> 99,95 %	> 99,95 %	> 99,9 %

Abschwächer

Abb.7:Transmissionsspektrum eines gesputterten Abschwächers (IBS) für 308 nm mit exakt eingestelltem und thermisch stabilem Transmissionsgrad von T = 0,08 % bei AOI = 45° (unpolarisiertes Licht)

LIDT und Daten zur Lebensdauer

Tabelle 2:LIDT oxidischer Beschichtungen

Beschichtung	LIDT* [J/cm²]
HR (0°, 248 nm) IAD	10 J/cm² (1-on-1) 5 J/cm² (1000-on-1)
HR (45°, 248 nm) IAD	10 J/cm² (1-on-1)
* Messungen wurden durchgeführt im Laser Labor Göttingen und an der Friedrich-Schiller-Universität Jena

Tabelle 3:Lebensdauer von fluoridischen Beschichtungen

Beschichtung	Lebensdauer
HR (0°, 248 nm)	2 × 10⁸ Pulse*
PR (0°, 248 nm) = 50 %	2 × 10⁸ Pulse*
AR (0°, 248 nm)	2 × 10⁸ Pulse**
HR (0°, 308 nm)	2 × 10⁸ Pulse**
HR (0°, 351 nm)	2 × 10⁸ Pulse**
PR (0°, 351 nm) = 25 %	2 × 10⁸ Pulse**
* Energiedichte: 100 mJ/cm², Wiederholrate: 100 Hz, Pulsdauer: 15 ns; untersucht von COHERENT AG, München
** Energiedichte: 55 mJ/cm², Wiederholrate: 100 Hz, Pulsdauer: 15 ns; untersucht von COHERENT AG, München

KrF, XeCl, XeF Laser (248 nm, 308 nm, 351 nm)