Vorderseiten-Aluminiumspiegel (150 – 900 nm)

Breitbandspiegel für UV, VIS und NIR

Optische Eigenschaften

• Ungeschütztes Aluminium:
  • R > 80 % bei 193 nm
  • R = 92 % bei 248 nm
  • R > 85 % von 200 nm bis 950 nm
  • R > 90 % von 230 nm bis 600 nm
  • R > 90 % für λ > 1 µm

• Standardspiegel:
  • R = 82 … 92 % von 240 nm bis 550 nm
  • R = 85 … 92 % von 550 nm bis 950 nm
  • R > 92 % für λ > 1 µm

Aluminium ist das Metall mit dem höchsten Reflexionsgrad im UV-Spektralbereich. Außerdem hat Aluminium einen hohen und relativ konstanten Reflexionsgrad im VIS und NIR. Das Minimum in der Reflexionskurve um 800 nm ist auf eine Phononenresonanz zurückzuführen und kann nur durch eine dielektrische Schutzschicht überwunden werden. Der Reflexionsgrad im VIS- und UV-Spektralbereich kann durch die Beschichtungstechnologien beeinflusst werden. Bei geschützten Aluminiumspiegeln hängen die Positionen der Minima und Maxima des Reflexionsgrades vom Aufbau des Schutzschichtsystems und vom Einfallswinkel (AOI) ab. Bitte geben Sie den AOI und die interessierenden Wellenlängen an, damit der Reflexionsgrad so weit wie möglich optimiert werden kann.

Maximaler Durchmesser: 600 mm, besonders bei astronomischen Anwendungen.

Aluminiumspiegel für mehrere Wellenlängen und UKP-Anwendungen

Abb. 2 zeigt die Reflexionsspektren eines Spiegels, mit erhöhter Reflexion für 266 nm, 400 nm und 800 nm bei AOI = 45°.

Spezielle Eigenschaften

• Hoher Reflexionsgrad im angegebenen Wellenlängenbereich
• Extrem niedrige Streuverluste der geschützten Aluminiumspiegel (Gesamtstreuung TS < 100 ppm bei 633 nm, TS < 1000 ppm bei 248 nm, TS < 5000 ppm bei 193 nm)
• Standard-Spiegel können mit Ethanol oder Aceton gereinigt werden und sind resistent gegen mäßigen Abrieb (getestet nach MIL-M-48497A § 4.5.4.2 und § 4.5.3.3)
• Alle Spiegel sind feuchtigkeitsbeständig (getestet nach MIL-M-13508C §4.4.7)
• Hochstabile optische Parameter durch gesputterte SiO₂-Schutzschicht

Geschützte Aluminiumspiegel für die DUV und VUV

Optische Eigenschaften

• Spezielles Beschichtungsdesign in Abhängigkeit von den gewünschten Wellenlängen:
  • Optimiert für 157 nm: R = 74 … 78 % für 157 nm
    (R > 70 % von 150 bis 200 nm)
  • Optimiert für 193 nm: R = 75 … 80 % für 193 nm
  • Optimiert für 248 nm: R > 90 % für 248 nm

Aluminiumspiegel mit erhöhtem Reflexionsgrad für 157 nm

• Das Reflexionsvermögen bei 157 nm kann durch dielektrische Schutzschichten weiter verbessert werden (bis zu R > 94 %)
• Reflexionsgrad im VIS: R = 60 …​ 80 %. Dies kann für einen Justierlaser verwendet werden
• Insbesondere Spiegel mit R = 85 …​ 90 % können in einem größeren AOI-Bereich eingesetzt werden als alle dielektrischen Spiegel mit diesem Reflexionsgrad

Aluminiumspiegel mit erhöhtem Reflexionsgrad für 193 nm

• Der Reflexionsgrad bei 193 nm kann bis zu Ru > 95 % verbessert werden
• Diese Art von Spiegeln kann auch als Scannerspiegel für AOI = 45° - 50° mit Ru > 93 % verwendet werden
• Reflexionsgrad im VIS: R = 60 …​ 80 %. Dies kann für einen Justierlaser verwendet werden
• VUV-optimierte Spiegel sollten mit äußerster Sorgfalt behandelt werden