Lithographisch strukturierte Beschichtungen

Für spezielle Anwendungen ist es erforderlich, nur Teilbereiche einer optischen Oberfläche zu beschichten oder verschiedene Schichtsysteme auf einem Substrat zu kombinieren. Mit unseren lithographischen Verfahren realisieren wir definierte Strukturen von wenigen Mikrometern bis zu mehreren Millimetern Größe – exakt ausgerichtet und laserfest bis in den Hochleistungsbereich.

Typische Anwendungen

Vorteile

Typische Anwendungen

Polka-Dot-Strahlteiler und Multizonenfilter
Pinholes und Masken für Strahlformung und Justage
Strukturiere Phasen- oder Polarisationsoptiken
Applikationen in Hochleistungslaser- und Metrologiesystemen

Abb.1:Beispielprodukte

a)Polka-Dot-Strahlteiler

b)Dielektrisches Pinhole

Vorteile

Kombination mehrerer Beschichtungen auf einer Oberfläche (z. B. Reflexions-, Polarisations- oder Transmissionszonen)
Strukturgrößen bis unter 5 µm bei hoher Kantenqualität
Kompatibel mit allen LAYERTEC-Beschichtungssystemen (AR, HR, PBS, Filter usw.)
Laserinduzierte Schadensschwelle (LIDT) auf dem Niveau unstrukturierter Beschichtungen
Hohe Sauberkeit und Qualität durch Reinraum-Lithographie und Inhouse-Fertigung

Abb.2:Bilder aus der Fertigung

a)Strukturierte AR/HR-Kombination auf Platte

b)LAYERTEC’s Lithographiereinraum

Erfahren Sie mehr über die zugrunde liegende Technologie der Lithographischen Strukturierung bei LAYERTEC unter Lithographie.