Toleranzen der Oberflächenform

Sollfläche vs. bearbeitete Fläche

Parameter der Oberflächenform

Es werden nur Schnittansichten der 3D-Oberfläche dargestellt.

Syntax gemäß ISO 10110

3/ A(B/C) RMS_t < D_t; RMS_i < D_i; RMSa < D_a; λ = E

• A = Sagittafehler ≙ PV der Best-Fit-Kugel; [nm] oder [Ringe]
• B = PV der Irregularität; [nm] oder [Ringe]
• C = PV des rotationssymmetrischen Anteils der Irregularität; [nm] oder [Ringe]
• D_t = RMS des Sagittafehlers; [nm] oder [Ringe]
• D_i = RMS der Irregularität; [nm] oder [Ringe]
• D_a = RMS des rotationsasymmetrischen Anteils der Irregularität; [nm] oder [Ringe]
• E = Referenzwellenlänge für die Interferenzringe; [nm]

Beispiel	Bedeutung
3/ – (1); RMS a < 0,1; λ = 546 nm	B = 1 Ring = 1 × λ/2 = 0,5 × 546 nm = 273 nm; Da < 0,1 Ringe
3/ 2(1/0,5); λ = 632,8 nm	A = 2 Ringe; B = 1 Ring; C = 0,5 Ring; 1 Ring = 0,5 × 632,8 nm = 316,4 nm
3/ –; RMSt < 100 nm; RMSi < 30 nm; λ = 546 nm	Dt < 100 nm; Di < 30 nm

Ringe	λ	λ = 546 nm
1 Ring	λ/2	273 nm
0,5 Ringe	λ/4	136,5 nm
0,2 Ringe	λ/10	54,6 nm
0,1 Ringe	λ/20	27,3 nm
0,04 Ringe	λ/50	10,92 nm

Grundregeln

Wenn Toleranzen ohne Einheit angegeben sind, gelten sie als in Interferenzringen angegeben. Laut ISO 10110-5:2016-04 muss die Referenzwellenlänge immer angegeben werden. In älteren Normen wurde λ = 546 nm (Hg e-Linie) angenommen, wenn keine Wellenlänge spezifiziert wurde.

Wie eben ist „eben“?