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Leckage

Klassifizierung der Dichtheit

KlasseMaximaler LeckdurchmesserLeckrate [mbar × l ⁄ s]Leckzeit (für 1 cm3-Blase)
Technisch dicht0,1 µm1 × 10⁻¹¹> 1 000 Jahre
Gasdicht0,8 µm1 × 10⁻⁹> 30 Jahre
Virendicht3 µm1 × 10⁻⁷> 100 Tage
Bakteriendicht10 µm1 × 10⁻⁵> 1 Tag
Wasserdicht30 µm1 × 10⁻³> 15 min
Tropfendicht100 µm1 × 10⁻¹10 s
Laufend-wasser-dicht1 mm1 × 10¹0,1 s

Praktische Hinweise zur Lecksuche

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Abb.1:Schematische Darstellung der Lecksuche
  • Verwenden Sie nur kleine Mengen Prüfgas, um eine Sättigung des Detektors zu vermeiden.
  • Beginnen Sie dort, wo Sie die Vakuumkammer zuletzt verändert haben.
  • Arbeiten Sie sich von oben nach unten vor (Prüfgas ist leichter als Luft).
  • Eine lange Ansprechzeit des Gasdetektors kann auf die räumliche Entfernung des Lecks oder Verzögerungen durch dünne Schläuche zurückzuführen sein.
  • Wird ein ausreichend großes Leck gefunden, erfolgt die Detektorantwort in der Regel sofort.
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Abb.2:Wechselwirkung von Gas und Kammeroberfläche
Adresse

LAYERTEC GmbH
Ernst-Abbe-Weg 1
99441 Mellingen
Germany

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