Excimer-Spiegel

Bei der Anwendung von Lasern im UV-Bereich (Excimer-Laser) sind die Optiken sehr hohen Energien ausgesetzt. Zusätzlich laufen Excimer-Laser im Pulsbetrieb und erzeugen extrem kurze Pulse mit hohen Spitzenintensitäten. Aus diesem Grund müssen Excimer-Optiken hohe Zerstörschwellen aufweisen und langlebig sein. Excimer-Laser sind Gaslaser und werden häufig mit Fluor betrieben. Ist die Optik dem Prozessgas ausgesetzt, müssen auch Substrat und Beschichungen auf Fluor basieren, da sie sich sonst auflösen würden.

Example:   Schematischer Aufbau eines Excimerlasers

LAYERTEC produziert Optiken für alle Excimer-Laser (F₂-Laser 157 nm, ArF-Laser 193 nm, KrF-Laser 248 nm, XeCl-Laser 308 nm, XeF-Laser 351 nm). Resonatorspiegel und Auskoppelspiegel für fluorbasierte Laser bestehen aus CaF₂- oder MgF₂-Substraten mit fluoridischen Beschichtungen und können auch im direkten Kontakt mit dem Lasergas eingesetzt werden. Auskoppelspiegel werden typischerweise mit Reflexionsgraden bis R = 50 % angeboten. Der spezifizierte Reflexionsgrad wird mit einer Genauigkeit von ±3 % erreicht.

Umlenkspiegel für 157 nm und 193 nm basieren ebenfalls auf fluoridischen Schichtsystemen auf CaF₂-Substraten. Dies garantiert eine hohe Zerstörschwelle und eine lange Lebensdauer. Umlenkspiegel für Wellenlängen ab 248 nm bestehen aus UV-tauglichen oxidischen Schichtsystemen auf Quarzglassubstraten. Strahlführungsoptiken können für beliebige Einfallswinkel ausgelegt werden. Umlenkspiegel für 45° Einfallswinkel sind als Standardkomponenten erhältlich.