Lithographisch strukturierte Beschichtungen

Für spezielle Anwendungen ist es notwendig, nur einen Teilbereich einer optischen Komponente mit einer Beschichtung zu versehen oder sogar verschiedene Schichtsysteme auf derselben Oberfläche zu kombinieren. Da im Wesentlichen alle gängigen Schichtsysteme segmentiert werden können, bietet sich eine Vielzahl an Kombinationsmöglichkeiten (dielektrisch, metallisch).

LAYERTEC fertigt strukturierte Optiken nach Kundenwunsch. Die einfachste Möglichkeit ist die Bechichtung durch eine mechanische Maske/Apertur, wobei der abgedeckte Bereich der Oberfläche unbeschichtet bleibt. Die hierzu notwendige Maskierung kann, je nach Anforderung, mechanisch oder photolithographisch umgesetzt werden. Zur Strukturierung metallischer Schichten (Gold, Kupfer, Chrom, Aluminium, Al₂O₃) ist alternativ zum Lift-Off Verfahren auch das Ätzverfahren einsetzbar.