Datenblatt - Laserspiegel 104245

[  ~  ]
Artikel mit gleicher Beschichtung
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Laserspiegel:
CaF2 (193nm) | plan/plan | Ø=20.0(-0.1)mm | d=4.0(-0.2)mm | //<5'
S1: Prüfpolitur
     unbeschichtet
S2(^): Øe13 | 3/0.5(0.5) [L/4]
       HR(0°,193nm)>96%

Produkt

plan+plan
Rund
Artikel
104245
Typ
  • Laserspiegel
Lasertyp
  • ArF-Laser
Stückpreis (netto)
auf Anfrage
Lagerbestand
> 10

Allgemeine Optikparameter

Material
CaF2 (E193) random
Form
Rund
Durchmesser (Ø)
20 mm
(-0.1 mm)
Dicke (d)
4 mm
(-0.2 mm)
Parallelität

Optikparameter Vorderseite  (S2)

Optikparameter Rückseite  (S1)

Form
plan
Prüfbereich Øe
13
Oberflächenformtoleranz
3/0,5
Sauberkeit
5/1x0,063
Form
plan
Prüfbereich Øe
13
Oberflächenformtoleranz
3/0,5
Sauberkeit
5/1x0,063

Beschichtungsspezifikationen Vorderseite  (S2)

[  ~  ]
Artikel mit derselben Beschichtung wie diese Vorderseiten-Beschichtung
Unbeschichtet
1. Funktionsbereich   HRu(0°,193nm)>96%
Typ
HR
Polarisation
unpol.
Einfallswinkel
Wellenlängenbereich
193 nm
HR
>  96 %