Substrate in Standardqualität

Standardspezifikationen

• Materialien
  • Quarzglas: Corning 7980^® oder äquivalent
  • Quarzglas für Hochleistungsanwendungen im NIR:
    Suprasil^® 300/3001/3002/Corning 7979^® oder äquivalent
  • UV Quarzglas (Excimerqualität): SQ1 E-193^® und SQ1 E-248^®
  • IR Quarzglas: Infrasil 302^® oder äquivalent
  • ULE^®
  • Zerodur^®
  • N-BK7^® oder äquivalent
  • CaF₂: Einzelkristall, zufällig orientiert, spezielle Orientierungen auf Anfrage, Excimerqualität (248 nm und 193 nm) auf Anfrage
  • Saphir: Einzelkristall, C-cut
  • YAG: undotiert, Einzelkristall, zufällig orientiert
  • Weitere Informationen zu den am häufigsten verwendeten Trägermaterialien finden Sie auf Seite Quarzglas.

• Plansubstrate, Etalons und Keilsubstrate
  • Standard-Plansubstrate: Keil < 5 Bogenminuten
  • Standardetalons: Keil < 1 Bogenminute oder Keil < 10 Bogensekunden
  • Standardkeilsubstrate: Keil = 30 arcmin oder Keil = 1 deg

• Plan-konkave und plan-konvexe Substrate
  • Standardradien: 25, 30, 38, 50, 75, 100, 150, 200, 250, 300, 400, 500, 600, 750, 1000, 2000, 3000, 4000, 5000 mm
  • Andere Radien auf Anfrage

• Größen
  • Quarzglas, ULE^®, Zerodur^®: Durchmesser 3 … 600 mm
  • Calciumfluorid, Saphir: Durchmesser 3 … 50,8 mm
  • YAG: Durchmesser 3 … 38,1 mm
  • Rechteckige Substrate und andere Durchmesser auf Anfrage erhältlich

• Toleranzen
  • Durchmesser: +0 mm, -0,1 mm
  • Dicke: ±0,1 mm
  • Prüfbereich: zentral 85 % der Gesamtgröße
  • Fase: 0,2 … 0,4 mm bei 45°

Material	Form	Standardspezifikation	Auf Anfrage
Quarzglas	plan sphärisch	λ/10 λ/10 reg.	λ/30 λ/30 reg. (Ø < 51 mm)
ULE® und Zerodur®	plan sphärisch	λ/10 λ/10 reg.	λ/30 λ/30 reg. (Ø < 51 mm)
N-BK7®	plan sphärisch	λ/10 λ/10 reg.	λ/30 λ/30 reg. (Ø < 51 mm)
CaF2	plan Ø < 26 mm plan Ø < 51 mm sphärisch	λ/10 λ/4 λ/4 reg.	λ/20 λ/20 λ/20 reg. (Ø < 51 mm)
Saphir		λ/10	λ/30
YAG	plan sphärisch	λ/10 λ/8 reg. (typischerweise λ/10 reg.)	λ/30 λ/30 reg. (Ø < 51 mm)
Si	plan sphärisch	λ/10 λ/8 reg. (typischerweise λ/10 reg.)	λ/20 λ/20 reg. (Ø < 51 mm)

Material	Standardrauheit*	Standardspezifikationen	Auf Anfrage*
Quarzglas	< 0,2 nm	5/ 1 × 0,025 L1 × 0,004 Scratch-Dig 10-3	< 0,15 nm	5/ 1 × 0,016 L × 0,0005 Scratch-Dig 5-1
ULE®	< 0,2 nm	5/ 3 × 0,025 L1 × 0,004 Scratch-Dig 10-5	< 0,2 nm	5/ 1 × 0,016 L1 × 0,0005 Scratch-Dig 5-1
Zerodur®	< 0,4 nm	5/ 2 × 0,040 L1 × 0,004 Scratch-Dig 10-5	< 0,3 nm	5/ 2 × 0,025 L1 × 0,0010 Scratch-Dig 10-3
N-BK7®	< 0,3 nm	5/ 1 × 0,040 L1 × 0,004 Scratch-Dig 10-5	< 0,2 nm	5/ 2 × 0,025 L1 × 0,0010 Scratch-Dig 10-3
CaF2	< 0,3 nm	5/ 1 × 0,04 L5 × 0,006 Scratch-Dig 20-5	< 0,2 nm	5/ 2 × 0,025 L5 × 0,004 Scratch-Dig 10-2
Saphir	< 0,3 nm	5/ 1 × 0,025 L10 × 0,004 Scratch-Dig 20-3	< 0,2 nm	5/ 1 × 0,016 L1 × 0,0010 Scratch-Dig 10-2
YAG	< 0,2 nm	5/ 1 × 0,025 L2 × 0,004 Scratch-Dig 20-3	< 0,2 nm	5/ 1 × 0,016 L1 × 0,0005 Scratch-Dig 5-1
Si	< 0,3 nm	5/ 3 × 0,025 L10 × 0,004 Scratch-Dig 10-5	< 0,2 nm	5/ 3 × 0,016 L3 × 0,0005 Scratch-Dig 5-1
Alle Spezifikationen entsprechen der ISO 10110 (Ø 25 mm). Die genannten Scratch-Dig-Werte entsprechen ungefähr der Norm MIL-O-13830, die in die ISO-10110 aufgenommen wurde.
* Gültig für Messungen mit optischen Profilometern unter Berücksichtigung von räumlichen Strukturen im Bereich von 1 – 70 µm.

Bitte beachten Sie: Kratzer, die breiter als 1 µm sind, werden garantiert nicht auftreten. Angaben nach ISO 10110 sind nicht möglich, da Kratzerbreiten bis zu 0,3 µm nicht wie erforderlich gemessen werden können.