Premium Quarzglaskomponenten
Substrate mit besonderen Eigenschaften
Substrate in Premiumqualität für spezielle Laseranwendungen wie Cavity Ring-Down oder EUV-Spiegel zeichnen sich aus durch:
- exakte Geometrie und Form
- besonders niedrige Oberflächenrauheit
- besonders niedrige Passfehler
- extrem niedrige Anzahl der Defekte auf der polierten Oberfläche.
LAYERTEC verwendet einen Politurprozess, der für alle oben genannten Parameter optimiert ist. Im folgenden möchten wir Ihnen einige Beispiele dafür geben, welche Oberflächenqualität mit Quarzglas bzw. Calciumfluorid erreicht werden kann.
Spezifikationen
Oberflächenrauheit
- RMS - Rauheit < 1,5 Å für plane Substrate aus Quarzglas
- Vergleichbare Ergebnisse auf leicht gekrümmten Quarzglas-Oberflächen (Abhängig vom Verhältnis von Radius zu Durchmesser)
- Sehr geringe Streulichtverluste durch das Substrat, sogar im UV-Bereich:
- TS = 2 x 10–5 bei 248 nm (totale Rückstreuung)
- TS = 5,6 x 10–4 (totale Rückstreuung) und 7,5 x 10–4 (Vorwärtsstreuung) bei 193 nm
Passfehler
| Quarzglas | Plan | λ/30 (633 nm) für Durchmesser von 6,35 mm bis 101,6 mm |
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| Sphärisch | λ/30 (633 nm) für Durchmesser < 51 mm |
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Oberflächenqualität
| Material | ISO 10110 (∅ 25 mm) | Annähernd gleich zu MIL-O-13830 |
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| Quarzglas | 5/ 1 x 0,014; L 1 x 0,0005 | Scratch-Dig 5-1 |
