Qualitätskontrolle

Qualitätskontrolle

Ion BeamFizeau Interferometer (SOLITON MiniFIZ 300
Ion BeamInterferometer (OptoTech®)
Ion BeamRasterkraftmikroskop (DI Nanoscope®)
Ion BeamSpektrophotometer
Ion BeamCavity Ring-Down Messplatzaufbau
Ion BeamGDD Messplatzaufbau

Wir betreiben einen großen Aufwand, um unseren Kunden eine gleichbleibend hohe Qualität unserer Produkte bieten zu können. Unsere hochentwickelten und komplexen Messapparaturen unterstützen die Produktion sowohl der Substrate, als auch der Beschichtungen.

Wir messen routinemäßig:

  • Oberflächenform
  • Spektrale Transmission und Reflektivität
  • Spektrale Phase & GDD (wenn sinnvoll)

Darüber hinaus verfügen wir über industrietaugliche Messplätze für:

  • Oberflächenrauheit / Qualität der Politur
  • High-End Reflektivitätsmessung über einem breiten Wellenlängenbereich an einem OPO gepumpten Cavity Ring‑Down Messplatz
  • Zerstörschwellenmessung für bestimmte Wellenlängen und Pulsdauern

Messgeräte für Präzisionsoptiken

Die Präzisionsoptikfertigung von LAYERTEC ist mit Interfermotern für plane und sphärisch gekrümmte Oberflächen ausgerüstet. Plane Substrate mit einer Ebenheit von λ / 20 (633 nm) und sphärische Substrate mit einer Formtoleranz von λ / 10 können mit einem Protokoll der Interferometrischen Messung geliefert werden.

Für die Formtoleranz-Messung großer Optiken in folgenden Messbereichen verwendet LAYERTEC zusätzlich ein Hochleistungs-Fizeau Interferometer und ein Twyman-Green Interferometer.

Plane Oberflächen:

  • Bis zu einem Durchmesser von ∅ = 300 mm
  • Messgenauigkeit: Ebenheit von λ / 100 (546 nm)
Sphärische Oberflächen:
  • Bis zu einem Durchmesser von ∅ = 500 mm mit einer
  • Messgenauigkeit: Formtoleranz von λ / 50 (546 nm)

Die Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy - AFM) ist ein nützliches Instrument um sehr ebene Oberflächen mit einer rms-Ebenheit von unter 5Å zu charakterisieren. LAYERTEC verwendet ein solches AFM, um den Politurprozess zu kontrollieren und bei Bedarf Messprotokolle bereitzustellen.

Messgeräte für Beschichtungen

Die spektralen Eigenschaften jeder Beschichtung werden routinemäßig durch Spektrometermessungen kontrolliert.

Normale spektrometrische Messungen im Wellenlängenbereich 190 nm - 3200 nm werden mit den PERKIN ELMER Spektrophotometern Lambda950®, Lambda750®; und Lambda19®; durchgeführt. Für Messungen jenseits dieser Wellenlängen ist LAYERTEC mit einem FTIR Spektrometer (λ = 1 µm ... 20 µm), sowie einem VUV Spektrometer (λ = 120 nm ... 240 nm) ausgerüstet.

Höchste Reflektivitäten im Bereich von 99.9 % bis 99.9995 % werden durch einen Cavity Ring-Down Aufbau gemessen.

Die Messung von Verlusten durch Absorption und Streulicht sowie Zerstörschwellenmessung für Laseranwendungen sind ebenfalls möglich und werden in Zusammenarbeit mit dem Institut für Photonische Technologien Jena, dem Fraunhofer Institut Jena sowie dem Laser-Zentrum Hannover durchgeführt.