Hochleistungsspiegel

Ein Hochleistungsspiegel muss sehr hohen Strahlungsleistungen standhalten und darf auch bei längerer Bestrahlungsdauer keinen Schaden nehmen. Die Zerstörschwelle (LIDT) ist das Maß für die Widerstandsfähigkeit der Optik.

Umlenkspiegel

Resonatorspiegel

Scannerspiegel

Excimer-Spiegel

MIR-Spiegel

Die LIDT ist abhängig von zahlreichen Parametern. Sowohl Schichteigenschaften (z.B. thermische Eigenschaften, Sauberkeiten, Bandlücke) als auch Substrateigenschaften (z.B. Material, Oberflächenqualität) müssen auf die Anwendungsparameter (z.B. Wellenlänge, Pulsdauer, Wiederholraten, Strahldurchmesser, Vakuum vs. Atmosphärenzusammensetzung) abgestimmt werden.

Beim Laserprozess wird die Optik von drei dominierenden Zerstörungsmechanismen beeinflusst:

• • cw – ns → thermische Zerstörung durch Absorption innerhalb des Schichtmaterials
• • ns – ~20ps → lokale Erwärmung durch Absorption an Defekten
• • ~20ps – fs und kürzer → Zerstörung durch Ionisationseffekte

  Dominierende Zerstörungsmechanismen bei unterschiedlichen Pulslängen

Wir produzieren Optiken mit sehr hohen Zerstörschwellen. Bestätigte Zerstörschwellen ausgewählter LAYERTEC-Optiken sind im technischen Bericht zusammengefasst.