Bauteile für F2 Laser
Spiegel, Auskoppler und Linsen
Bild 1: Gemessene Reflexions- und Transmissionsspektren eines Laserspiegels (AOI = 0°, a) und eines Umlenkspiegels (AOI = 45°, b) bei 157 nm
Bild 2: Gemessene Reflexionsspektren von Standard-Auskopplern mit R = 50 ± 3 % und R = 25 ± 2 % (Rückseite unbeschichtet) - Laserspiegel: R = 92 … 95 % für AOI = 0°
- Umlenkspiegel (AOI = 45°):
- Rs > 97 %
- Rp > 90 %
- Rr > 92 %
- Hochwertige Substrate für Spiegel, Fenster und Linsen aus CaF2 (157 nm Excimerqualität)
- Teilreflektierende Beschichtungen mit Toleranzen von
- ± 2 % for R = 10 … 30 %
- ± 3 % for R = 30 … 75 % und
- ± 2 % for R = 75 … 90 %
- Entwicklung und Produktion kundenspezifischer Komponenten, wie zum Beispiel Strahlteiler und variable Abschwächer auf Anfrage
Variabler Abschwächer
Bild 3: Gemessene Transmissionsspektren eines variablen Abschwächers bei verschiedenen AOI (a) und Transmission auf AOI (b); die Transmission variiert von T > 75 % bei AOI = 0° bis T < 5% bei AOI = 45°Aluminiumspiegel für F2-Lasers
Bild 4: Reflexionsspektrum eines geschützten Al-Spiegels (a) und eines verbesserten Al-Spiegels für 157 nm (b) - Geschützter Al-Spiegel (optimiert für 157 nm): R = 74 … 78 %
- Dielektrisch geschützter Al-Spiegel: bis zu R = 94 % bei AOI = 0°
- Mehr Informationen zu Al-Spiegeln finden Sie in unserem Katalog auf Seite 122.
Technische Daten von Standard-F2-Laserkomponenten
Beschichtung | Spektrale Leistung | Lebenszeittest |
---|
HR(0°, 157 nm) | R = 92 … 95 % | 2 x 108 – 1 x 109 Pulse* |
HR(45°, 157 nm) | R = 90 … 94 % (zufällig pol.) | |
PR(0°, 157 nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 Pulse* |
PR(0°, 157 nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 Pulse* |
Abschwächer | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 Pulse**, kein Schaden |
Abschwächer | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 Pulse***, kein Schaden |
Beamsplitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 Pulse***, kein Schaden |
AR(0°, 157 nm) | 0.3 … 0.7 % | |
* | Energiedichte: 25 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 800 Hz, Pulsdauer: 15 ns; getestet bei COHERENT AG, München |
** | Energiedichte: 15 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 200 Hz, Pulsdauer: 20 ns; getestet im Institut für Photonische Technologien (IPHT) Jena |
*** | Energiedichte: 20 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 50 Hz, Pulsdauer: 20 ns; getestet im Institut für Photonische Technologien (IPHT) Jena |