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Bauteile für F2 Laser

Spiegel, Auskoppler und Linsen

laser mirror and turning mirrorBild 1: Gemessene Reflexions- und Transmissionsspektren eines Laserspiegels (AOI = 0°, a) und eines Umlenkspiegels (AOI = 45°, b) bei 157 nm
silver mirror for fs-lasersBild 2: Gemessene Reflexionsspektren von Standard-Auskopplern mit R = 50 ± 3 % und R = 25 ± 2 % (Rückseite unbeschichtet)
  • Laserspiegel: R = 92 … 95 % für AOI = 0°
  • Umlenkspiegel (AOI = 45°):
    • Rs > 97 %
    • Rp > 90 %
    • Rr > 92 %
  • Hochwertige Substrate für Spiegel, Fenster und Linsen aus CaF2 (157 nm Excimerqualität)
  • Teilreflektierende Beschichtungen mit Toleranzen von
    • ± 2 % for R = 10 … 30 %
    • ± 3 % for R = 30 … 75 % und
    • ± 2 % for R = 75 … 90 %
  • Entwicklung und Produktion kundenspezifischer Komponenten, wie zum Beispiel Strahlteiler und variable Abschwächer auf Anfrage

Variabler Abschwächer

laser mirror and turning mirrorBild 3: Gemessene Transmissionsspektren eines variablen Abschwächers bei verschiedenen AOI (a) und Transmission auf AOI (b); die Transmission variiert von T > 75 % bei AOI = 0° bis T < 5% bei AOI = 45°

Aluminiumspiegel für F2-Lasers

protected and enhanced Al mirror for 157nmBild 4: Reflexionsspektrum eines geschützten Al-Spiegels (a) und eines verbesserten Al-Spiegels für 157 nm (b)
  • Geschützter Al-Spiegel (optimiert für 157 nm): R = 74 … 78 %
  • Dielektrisch geschützter Al-Spiegel: bis zu R = 94 % bei AOI = 0°

Technische Daten von Standard-F2-Laserkomponenten

BeschichtungSpektrale LeistungLebenszeittest
HR(0°, 157 nm)R = 92 … 95 %2 x 108 – 1 x 109 Pulse*
HR(45°, 157 nm)R = 90 … 94 % (zufällig pol.) 
PR(0°, 157 nm)R = 50 ± 3 %2 x 108 – 1 x 109 Pulse*
PR(0°, 157 nm)R = 25 ± 3 %2 x 108 – 1 x 109 Pulse*
AbschwächerT = 67 ± 3 %5 x 107 Pulse**, kein Schaden
AbschwächerT = 33 ± 3 %1 x 108 Pulse***, kein Schaden
BeamsplitterT = 20 ± 3 %1 x 108 Pulse***, kein Schaden
AR(0°, 157 nm)0.3 … 0.7 % 
* Energiedichte: 25 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 800 Hz, Pulsdauer: 15 ns; getestet bei COHERENT AG, München
** Energiedichte: 15 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 200 Hz, Pulsdauer: 20 ns; getestet im Institut für Photonische Technologien (IPHT) Jena
*** Energiedichte: 20 mJ/cm2, Wiederholungsrate: 50 Hz, Pulsdauer: 20 ns; getestet im Institut für Photonische Technologien (IPHT) Jena